基本素養 Basic Literacy

人文與倫理素養
誠信素養
社會關懷
國際視野

核心能力 Competence

工程領域之專業知識
策劃及執行專題研究之能力
撰寫專業論文之能力
創新思考及獨立解決問題之能力
與不同領域人員協調整合之能力
廣闊之國際視野
領導、管理及規劃的能力
終身自我學習成長之能力

課程概述 Course Description

本課程簡介微機電系統之製程及相關技術,更進討論微型感知器及致動器的製程及工作原理。

課程學習目標 Course Objectives

  • 簡介微機電系統之製程
  • 簡介微機電系統之相關技術
  • 討論微型感知器及致動器的製程及工作原理
  • 課程進度 Progress Description

    進度說明 Progress Description
    1Introduction to semiconductor
    2Introduction to micromachining
    3Microfabrication techniques
    4Bulk micromachining
    5Bulk micromachining
    6suface micromachining
    7suface micromachining
    8期中報告
    9期中報告
    10Bonding Technology
    11Other Microfabrication techniques
    12Other Microfabrication techniques
    13LIGA process
    14polymer
    15Laser micromachining
    16Laser micromachining
    17期末報告
    18期末報告
     以上每週進度教師可依上課情況做適度調整。The schedule may be subject to change.

    有關課程其他調查 Other Surveys of Courses

    1.本課程是否規劃業界教師參與教學或演講? 否
    Is there any industry specialist invited in this course? How many times? No
    2.本課程是否規劃含校外實習(並非參訪)? 否
    Are there any internships involved in the course? How many hours? No