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微機電系統技術與整合
INTEGRATION OF MEMS TECHNOLOGY

概述 本課程分三部分,(一)微奈米機電系統產品與應用;(二)微機電系統技術介紹,包括基礎半導體製程、體型微加工、面型微加工、CMOS微加工、LIGA/LIGA-like 製程等技術;(三)整合技術與實例說明,包括材料課題、製程課題、並以微感測器和微致動器等實例說明。 目標 了解微機電系統技術的製程、材料與整合知識,以及在產品與應用的範疇,作為未來微奈米機電系統相關研究的一個基礎。

課程教育目標
A 紮實的專業知識與技能 Professional knowledge and skills.
B 獨立研發與創新能力 Independent research and creativity.
C 團隊精神與領導能力 Spirit of team work and leadership.
D 國際觀與前瞻宏觀視野 Global vision.
E 人文素養與服務精神、專業倫理與終身學習 Quality of humanism, spirit of service, professional ethics, lifelong learning.
課程基本素養與核心能力
A 機械工程之專業知識
B 規劃與執行專題研究之能力
C 專業論文與報告之撰寫和表達能力
E 解決問題與協調整合之能力
F 前瞻宏觀的國際視野
G 領導、管理及組織團體之能力
H 自我成長之能力(人文素養與服務精神、專業倫理與終身學習)
I 專業倫理與人文素養
J 誠信負責與務實素養
K 永續環境與社會關懷
近年開課資訊
開課年度 課程碼 分班碼 課程名稱
(超連結為課程大綱)
學分數 英語授課 授課教師
0108/1 N165400 微機電系統技術與整合 3.0 N 鍾震桂
0107/1 N165400 微機電系統技術與整合 3.0 N 鍾震桂
0106/1 N165400 微機電系統技術與整合 3.0 N 鍾震桂
0105/1 N165400 微機電系統技術與整合 3.0 N 鍾震桂
0104/1 N165400 微機電系統技術與整合 3.0 N 鍾震桂
0103/1 N165400 微機電系統技術與整合 3.0 N 鍾震桂
0102/1 N165400 微機電系統技術與整合 3.0 N 鍾震桂
0101/1 N165400 微機電系統技術與整合 3.0 N 鍾震桂
0100/1 N165400 微機電系統技術與整合 3.0 N 鍾震桂
0099/1 N165400 微機電系統技術與整合 3.0 N 鍾震桂
0098/1 N165400 微機電系統技術與整合 3.0 N 鍾震桂