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準分子雷射與微細加工
EXCIMER LASER IN MICROFABRICATION

本課程之目的在於藉由準分子雷射系統為載台, 以 LIGA-Like 製程為主題, 傳授學生相關基本之微細加工知識. 修課學生並須要分組, 構想並完成一期末計劃. 課程原則上以十一月中旬為界, 分成兩大部份. 在第一部份, 將以瞭解準分子雷射-based LIGA-Like 製程之相關技術, 並從學習中決定自己的期末計劃. 主題包括 LIGA-Like MEMS overview, basic laser machining, Excimer system, stage control, G-code programming, materials for laser machining, 及 electroforming process. 第二部份將以較深入之主題介紹, 來增加學生對於微細加工認識之深度及廣度. 介紹主題包括 微奈米量測, 微機電製程, 機電系統, 非傳統雷射加工技術, 以及雷射加工之熱傳問題等

課程教育目標
A 紮實的專業知識與技能 Professional knowledge and skills.
B 獨立研發與創新能力 Independent research and creativity.
C 團隊精神與領導能力 Spirit of team work and leadership.
D 國際觀與前瞻宏觀視野 Global vision.
E 人文素養與服務精神、專業倫理與終身學習 Quality of humanism, spirit of service, professional ethics, lifelong learning.
課程基本素養與核心能力
A 機械工程之專業知識
B 規劃與執行專題研究之能力
C 專業論文與報告之撰寫和表達能力
D 創新思考與獨立研究之能力
E 解決問題與協調整合之能力
F 前瞻宏觀的國際視野
G 領導、管理及組織團體之能力
H 自我成長之能力(人文素養與服務精神、專業倫理與終身學習)
J 誠信負責與務實素養
近年開課資訊
開課年度 課程碼 分班碼 課程名稱
(超連結為課程大綱)
學分數 英語授課 授課教師