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微機電系統概論

微機電系統(MEMS)是目前科技界認為具未來發展潛力及前瞻性的研究領域應用,微機電乃在積體電路相關材料與製程的基礎上,整合光學,機系與電子電機技術所發展微細的元件與系統。本課程將探討半導體元件製程技術應用於微機電系統(MEMS)之製造。同學可於本課程中學習到(1)半導體製程概要。(2)微機電元件製程技術。(3) 微感測器與微致動器製作技術。

課程教育目標
B. 培育學生具備執行船舶或機電系統之設計開發與實作能力。
課程基本素養與核心能力
[基本素養]
  • 誠信與務實素養
  • [核心能力]
  • 運用數學、科學及工程知識的能力。
  • 設計與執行實驗,以及分析與解釋數據的能力。
  • 執行船舶或機電工程實務所需技術、技巧及使用現代工具的能力。
  • 設計船舶或機電工程系統、元件或製程的能力。
  • 計畫管理(含經費規劃)、有效溝通、領域整合與團隊合作的能力。
  • 發掘、分析、應用船舶或機電研究成果及解決相關工程問題的能力。
  • 關懷國內外工程時事議題,瞭解工程技術對環境、社會及全球的影響,並培養持續學習的習慣與能力。
  • 近年開課資訊
    開課年度 課程碼 分班碼 課程名稱
    (超連結為課程大綱)
    學分數 英語授課 授課教師
    0109/1 F142400 [SYS4212]微機電系統概論 3.0 N 趙儒民
    0107/1 F142400 [SYS4212]微機電系統概論 3.0 N 趙儒民
    0105/1 F142400 [SYS4212]微機電系統概論 3.0 N 趙儒民
    0104/1 F142400 [SYS4212]微機電系統概論 3.0 N 趙儒民
    0102/1 F142400 [SYS4212]微機電系統概論 3.0 N 趙儒民
    0100/1 F142400 [SYS4212]微機電系統概論 3.0 N 趙儒民
    0099/1 F142400 [SYS4212]微機電系統概論 3.0 N 趙儒民
    0098/1 F142400 [SYS4212]微機電系統概論 3.0 N 趙儒民